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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 AU2003236002(A1) 申请公布日期 2003.10.20
申请号 AU20030236002 申请日期 2003.04.09
申请人 SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 发明人 MASATERU FUKUOKA;MUNEHIRO HATAI;SATOSHI HAYASHI;YASUHIKO OYAMA;SHIGERU DANJO;MASAHIKO KITAMURA;KOICHI YAJIMA
分类号 B24B7/22;B24B41/06;H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/68;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
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