| 发明名称 |
DEVICE FOR ACCOMMODATING SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003224015(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.20 |
| 申请号 |
AU20030224015 |
申请日期 |
2003.03.31 |
| 申请人 |
ASTEC HALBLEITERTECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
JURGEN SCHWECKENDIEK;MATTHIAS NIESE;JORG FRANZKE |
| 分类号 |
B65G49/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/673;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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