| 发明名称 |
PULSED PROCESSING SEMICONDUCTOR HEATING METHODS USING COMBINATIONS OF HEATING SOURCES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003218303(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.20 |
| 申请号 |
AU20030218303 |
申请日期 |
2003.03.19 |
| 申请人 |
MATTSON TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
PAUL, J. TIMANS;NARASIMHA ACHARYA |
| 分类号 |
H05B3/00;C30B31/12;F27D11/02;H01L21/00;H01L21/26;H01L21/268;H05B1/02;H05B3/68;(IPC1-7):F27B5/14 |
主分类号 |
H05B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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