| 发明名称 |
DISPOSITIF D'EVACUATION D'EFFLUENTS D'UNE INSTALLATION DE TRAITEMENT DE PRODUITS SEMI-CONDUCTEURS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2807350(B1) |
申请公布日期 |
2003.10.17 |
| 申请号 |
FR20000004659 |
申请日期 |
2000.04.11 |
| 申请人 |
METRON TECHNOLOGY EURL |
发明人 |
PIZZETU CHRISTIAN;MAUNIER FREDERIC;BREMOND JEAN DIDIER |
| 分类号 |
B01D47/06;B08B15/00;(IPC1-7):B08B5/04 |
主分类号 |
B01D47/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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