| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20030081058(A) |
申请公布日期 |
2003.10.17 |
| 申请号 |
KR20030021749 |
申请日期 |
2003.04.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;EKC TECHNOLOGY KK |
发明人 |
KUDO AKIYOSHI;KOBAYASHI HIROSHI;MATSUMOTO TAKANORI |
| 分类号 |
G03F7/40;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/331;H01L21/335;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812 |
主分类号 |
G03F7/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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