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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5853510(B2)
申请公布日期
1983.11.29
申请号
JP19770047263
申请日期
1977.04.23
申请人
HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI
发明人
NISHIZAWA JUNICHI
分类号
H01L21/8222;H01L21/331;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/72;H01L29/73
主分类号
H01L21/8222
代理机构
代理人
主权项
地址
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