位置量测方法、曝光方法以及元件制造方法

摘要

提供一种即使在透过观察视野亦只能观察到标记之一部分、或标记偏离观察视野内时，亦能正确地量测该标记之位置资讯的位置测量方法。此时，观察系统，具有可观察标记M之一部分却无法观察标记M之整体的观察视野PFx,PFy。透过观察系统之观察视野PFx,PFy，以至少包含一个能观察部分标记之区域的方式，来拍摄基板上之复数个区域S1,S2,S3，…，根据该拍摄结果，特定出所拍摄之该标记M的一部分，究竟系标记M的哪一部分，并根据拍摄标记M之一部分的结果及特定出的结果，求出标记M之位置资讯。