首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
微影装置及元件制造方法
摘要
本发明系藉提供一通过封装一组件之第一室10内部之第一清除气体流11,12及通过该室10外部表面之第二清除气体流16,17而提供一种防止污染物被导入该组件之装置。
申请公布号
TW200305192
申请公布日期
2003.10.16
申请号
TW092102244
申请日期
2003.01.30
申请人
ASML公司
发明人
杰罗恩 乔哈那斯 索菲亚 马利亚 马顿斯;JOHANNES SOPHIA MARIA MERTENS
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
荷兰
您可能感兴趣的专利
工件头架
用于电脑的图形用户界面
优盘(便携)
手机(Q998)
医用自助查询终端
智能电脑桌面呼叫开关(2)
马达转子加工设备
三防手机
带有应用软件界面的手机
手机(将军)
数控平板冲切机(YF600)
用于车机的图形用户界面
手机支架蓝牙音箱(MB-106A)
逆变式手弧焊机(IN-195/205/255)
侧按活动铅笔(506)
红包(886-6)
用于电脑的图形用户界面
笔(201602)
培土机
点钞机(WGD-9600型)