直写式奈米微影印刷之固态特征图样化

摘要

本发明包括一种在基材上制造各种固态及金属氧化物奈米结构之方法，该结构包括有机／无机复合奈米结构，该方法包括用直写式奈米微影印刷在基材上沈积具有嵌段共聚物和无机前驱体之溶液。该奈米结构包括具有小于1微米宽度／直径的线和／或点之阵列。本发明亦包括一种装置，该装置包含化学接着到一基材之有机／无机复合奈米尺度区域，其中该奈米尺度区域，其中该奈米尺度区域除高度以外具有奈米尺度尺寸。