大面积光罩以及具有此大面积光罩之曝光系统

摘要

本发明所提供的是一种大面积光罩以及具有此大面积光罩之曝光系统。此光罩包括了一包含有光穿透区域与光线阻隔区域的透明基材，以及多个配置于透明基材上，用以支撑透明基材的条状物。当将大面积光罩设置于曝光系统中时，条状物能够支撑住光罩，因此可以避免光罩之水平高度向下偏移。