发明名称 结构,制造此结构之方法,及使用此结构之装置
摘要 构制一种复合结构,包含铝及矽或矽/锗。复合结构包含柱形构件包含铝,及一区包含矽或矽/锗,并包围柱形构件。该结构包含含量在铝及矽或矽/锗之总含量中不少于20原子%及不多于70原子%之矽或矽/锗。
申请公布号 TW200305200 申请公布日期 2003.10.16
申请号 TW092102773 申请日期 2003.02.11
申请人 佳能股份有限公司 发明人 福谷和彦;田透
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本