压力感应器及其制法

摘要

一种压力感应器可能系包括一第一薄膜，此第一薄膜回应压力而挠曲；一参考腔体，此参考腔体由第一薄膜所覆盖且其中参考腔体包含一真空；及一第二薄膜，此第二薄膜与第一薄膜相邻。第一及第二薄膜形成一电容器，此电容器具有依据第一薄膜的挠曲及压力而改变之电容。