| 摘要 |
一种多轴干涉仪，用以量测一量测件的位置变化。该干涉仪被设置为接收一原始输入光束，将从该原始输入光束所接收到的一第一角度量测光束引导经过该量测件上的一第一点，将从该原始输入光束所接收到的一第二角度量测光束引导经过该量测件上的一第二点，并结合该第一角度量测光束以及该第二角度量测光束以产生一角度量测输出光束，其中，该第一角度量测光束以及该第二角度量测光束于被结合成该角度量测输出光束前，仅经过该量测件一次，且该干涉仪更被设置为引导沿不同的路径从该原始输入光束接收的一另一组光束，并将其结合以产生一另一输出光束，其包括有关于该量测件位置变化的资讯。 |
