| 发明名称 |
Verfahren zur automatischen Überwachung und Analyse von durch Objektivlinsenfokusschwankung einer Belichtungsanlage verursachten Fertigungsfehlern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10145183(C2) |
申请公布日期 |
2003.10.16 |
| 申请号 |
DE20011045183 |
申请日期 |
2001.09.13 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
STEINKIRCHNER, ERWIN;MAERITZ, JOERN |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/207;(IPC1-7):G03F7/207 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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