首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TEMPERATURREGELUNG IN EINER PLASMA-BEHANDLUNGSKAMMER
摘要
申请公布号
DE69718321(T2)
申请公布日期
2003.10.16
申请号
DE19976018321T
申请日期
1997.06.02
申请人
LAM RESEARCH CORP., FREMONT
发明人
WICKER, E.;COOK, M.;MARASCHIN, A.;KENNEDY, S.;BENJAMIN, NEIL
分类号
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):C23C16/50
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
FIBERARMEREDE METALMATRIXKOMPOSITTER SAMT FREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING HERAF
FREMGANGSMAATE OG ELEKTRODIALYSECELLE TIL REGENERERING AV KROMSYREBAD.
FOERPACKNING.
STYREINNRETNING FOR ROMOPPVARMINGSANORDNING.
VOLUMSTROEMSTYRENDE HYDRAULISK VENTILANORDNING.
FREMGANGSMAATE FOR FREMSTILLING AV 2-HALONICERGOLINDERIVATER.
FREMGANGSMAATE FOR ANBRINGELSE AV DEN OEVRE KONSTRUKSJON AV EN OFFSHORE-PLATTFORM, SAMT UTSTYR FOR AA UTFOERE ANBRINGELSEN.
FREMGANGSMAATE FOR FREMSTILLING AV ET EMULSJONSSPRENGSTOFF AV VANN-I-OLJE-TYPEN OG OXYDASJONSMIDDEL FOR ANVENDELSE VED DENNE.
FREMGANGSMAATE VED BORING AV ET BOREHULL.
KOMBINASJONSBIL.
SPRENGSTOFFLADNING FOR EKSPLOSJONSSVEISING AV ROER MED STOR DIAMETER OG FREMGANGSMAATE VED DERES FREMSTILLING.
DAMPKOKER.
INNHALINGSINNRETNING FOR FISKELINE.
HIVKOMPENSERINGSANORDNING FOR BORESTRENG I EN FLYTENDE BOREINNRETNING.
FREMGANGSMAATE FOR PAAFOERING AV OPTISK FILTER PAA ET GJENNOMSIKTIG SUBSTRAT.
PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO MEJORADOS PARA CORREGIR LAS PROPIEDADES DE LAS FIBRAS CONSTITUIDAS POR UN MATERIAL TERMOPLASTICO
PNEUMATIC TIRE FOR CAR
MARBLE PRINT DYEING M/C
ROTERANDE BEARBETNINGSVERKTYG OCH FOERFARANDE FOER DESS FRAMSTAELLNING.
NYA 2-ARYLIMIDAZOLER, DESSA FOERENINGAR INNEHAOLLANDE LAEKEMEDEL OCH FOERFARANDE FOER DERAS FRAMSTAELLNING.
