| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein akustisches Oberflächenwellenbauelement, bei dem auf einem piezoelektrischen Substrat Interdigitalwandler- und Reflektorstrukturen aus einem elektrisch leitfähigen Material angeordnet sind. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, für ein derartiges Oberflächenwellenbauelement Maßnahmen vorzuschlagen, durch die die Akustomigration wesentlich verringert wird, die Möglichkeit einer Frequenzverschiebung zu höheren Werten vorliegt und preiswerte pyroelektrische Substrate einsetzbar sind, ohne dass hierdurch eine maßgebliche Beeinträchtigung der Übertragungseigenschaften und des wichtigen Temperaturkoeffizienten eintritt. Das erfindungsgemäße akustische Oberflächenwellenbauelement ist dadurch gekennzeichnet, dass auf und/oder unter den Interdigitalwandler- und Reflektorstrukturen eine 1 nm bis 20 nm dicke Schicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff mit einem sp3-Anteil von > 30% oder aus einem anderem Material mit einem E-Modul von mindestens 200 GPa vorhanden ist, die mit gepulstem Hochstrombogenverfahren oder einem anderen Schichtabscheidungsverfahren zur Erzeugung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten mit vergleichbarem sp3-Anteil oder zur Erzeugung anderer Schichten mit E-Moduli im Bereich von mindestens 200 GPa hergestellt ist.</p> |
