| 发明名称 |
Kontrolle von Kantenniederschlag auf Halbleitersubstrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69529325(T2) |
申请公布日期 |
2003.10.16 |
| 申请号 |
DE1995629325T |
申请日期 |
1995.10.19 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LEI, LAWRENCE CHUNG-LAI;LEUNG S., CISSY |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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