| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Detektoranordnung zur Energiemessung von gepulster Röntgenstrahlung, insbesondere zur Überwachung der Energieabstrahlung von gepulst betriebenen EUV-Strahlungsquellen. DOLLAR A Die Aufgabe, eine neue Möglichkeit zur Energiemessung von energiereicher Röntgenstrahlung oder EUV-Strahlung zu finden, die eine genaue Überwachung der Strahlungsdosis über die gesamte Lebensdauer der Strahlungsquelle ohne ständige Kalibrierung der Strahlungsdetektoren gestattet, wird erfindungsgemäß gelöst, indem ein geschlossener Behälter mit einer Eintrittsöffnung für die zu detektierende Strahlung vorhanden ist, der mit einem geeigneten Gas zur Absorption der Strahlung unter definiertem Druck gefüllt ist und eine dem Absorptionsverhalten des Gases angepasste lineare Ausdehnung zumindest in Einfallsrichtung der Strahlung aufweist, so dass die zu detektierende Strahlung, bevor diese eine Wand des Behälters erreichen kann, absorbiert wird, und in dem Behälter mindestens ein Drucksensor zur Messung einer Druckwelle, die infolge der durch kurzzeitige intensive Strahlungsabsorption eintretenden lokalen Temperaturänderung erzeugt wird, angeordnet ist.
|
