发明名称 ELECTROSTATIC CORRECTOR
摘要
申请公布号 EP1352410(A1) 申请公布日期 2003.10.15
申请号 EP20010273278 申请日期 2001.11.23
申请人 CEOS CORRECTED ELECTRON OPTICAL SYSTEMS GMBH 发明人 ROSE, HARALD;UHLEMANN, STEPHAN;WEISSBAECKER, CHRISTOPH
分类号 H01J37/12;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/153 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
主权项
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