发明名称 |
PROCESS FOR THE PREPARATION OF SINGLE CRYSTALS OF COMPOUND SEMICONDUCTORS, EQUIPMENT THEREFOR, AND SINGLE CRYSTALS OF COMPOUND SEMICONDUCTORS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0979883(A4) |
申请公布日期 |
2003.10.15 |
申请号 |
EP19980950467 |
申请日期 |
1998.10.30 |
申请人 |
JAPAN ENERGY CORPORATION |
发明人 |
ODA, OSAMU;SEKI, YOUJI;INOUE, TAKAYUKI |
分类号 |
C30B11/00;(IPC1-7):C30B29/40;C30B29/48;C30B11/12 |
主分类号 |
C30B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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