表面改性的石英玻璃坩埚及其改性方法

摘要

一种表面改性的石英玻璃坩埚和用于使坩埚改性的方法，包括在坩埚的整个或部分内侧和/或外侧表面上的金属氧化物层，以及对其进行烘焙。至少坩埚的内表面涂覆有所述镁、钙、锶或钡的金属氧化物。坩埚的涂层不易磨损并可提供用坩埚拉制成的单晶硅的高无位错比例。

主权项

1.一种石英玻璃坩埚，包括金属氧化物层，其中所述层烘焙在所述坩埚的至少部分内侧和/或外侧表面上。