发明名称 | 可装设数块光罩的光罩支架及微影曝光系统 | ||
摘要 | 本发明公开了一种可装设数块光罩的光罩支架及微影曝光系统。一种可装设数块光罩的光罩支架,具有复数个窗口,可装设复数个光罩,以进行微影曝光程序,并在晶圆上定义由这些光罩所组合成的曝光结合区域,其中在每一个光罩的侧边上具有微调装置,可在装设光罩于窗口中时,调整光罩的位置与角度,而使复数个光罩彼此间完全的平行。如此,在使用微影曝光系统时,可移动可装设数块光罩的光罩支架,将要进行曝光的光罩移动至曝光光源下方,以进行微影曝光程序而在晶圆表面,形成由这些光罩任意组合的图案。 | ||
申请公布号 | CN1448786A | 申请公布日期 | 2003.10.15 |
申请号 | CN02106111.4 | 申请日期 | 2002.04.03 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 林本坚 |
分类号 | G03F1/16;G03F7/20 | 主分类号 | G03F1/16 |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄志华 |
主权项 | 1、一种可装设数块光罩的光罩支架,具有复数个窗口,用以装设复数个光罩,以便进行微影曝光程序,可在晶圆上定义由该复数个光罩所组合的曝光图案,其中在每一个该光罩的侧边上具有微调装置,可在装设该光罩于该窗口中时,调整该光罩的位置与角度,而使该复数个光罩彼此间完全的平行。 | ||
地址 | 台湾省新竹科学工业园区 |