发明名称 镀膜形成方法和镀膜形成装置
摘要 本发明提供了一种镀膜形成方法和镀膜形成装置,这种方法和装置能够在膜形成表面不引起刻痕,提高成品率,能保持稳定放电以连续形成质地均匀、厚度一致的镀膜,镀膜通过沿长度方向连续运送带状基质形成,这样它构成了放电区的一部分,在基质运送过程中,由滚筒将构成放电区一部分的基质的横断面形状改变为弯曲形状。
申请公布号 CN1124365C 申请公布日期 2003.10.15
申请号 CN96123838.0 申请日期 1996.12.20
申请人 佳能株式会社 发明人 森山公一朗;越前裕;金井正博;大利博和;吉野毫人;保野笃司;吉田耕平;宫本祐介
分类号 C23C16/54;C23C16/50 主分类号 C23C16/54
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 孙征
主权项 1.一种镀膜形成方法,包括在带状基质长度方向上连续运送基质,以形成放电区的一部分,通过使用放电在基质上连续形成镀膜,其中在运送过程中,在与运送方向相垂直的方向上,将形成放电区一部分的基质的横断面形状改变为弯曲形状。
地址 日本东京都