| 发明名称 | 用以量测表面介电常数的探针及其量测方法 | ||
| 摘要 | 一种用以量测表面介电常数的探针，其中此探针为一结构膜层以及一绝缘膜层所组成的复合层结构，而此结构膜层系由一第一导电区域、一第二导电区域以及一绝缘区域所组成，而此绝缘区域为连续波形状且位于第一导电区域以及第二导电区域之间，用以隔离第一导电区域以及第二导电区域。 | ||
| 申请公布号 | CN1449008A | 申请公布日期 | 2003.10.15 |
| 申请号 | CN02108572.2 | 申请日期 | 2002.04.02 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 包天一 |
| 分类号 | H01L21/66 | 主分类号 | H01L21/66 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄志华 |
| 主权项 | 1.一种用以量测表面介电常数的探针，其特征在于：该探针为一结构膜层以及一绝缘膜层所组成的复合层结构，而该结构膜层系由一第一导电区域、一第二导电区域以及一绝缘区域所组成，而该绝缘区域为连续波形状且位于该第一导电区域以及该第二导电区域之间，用以隔离该第一导电区域以及该第二导电区域。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区 | ||