基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具

摘要

一种基板支承用槽棒及使用该槽棒的基板载具，其中该基板支承用槽棒为一支承棒与一金属棒的复合结构，该支承棒沿其本体一侧设置多个间隔均匀的支承板，该支承板中间另具自支承棒本体向外逐渐变细的凸起。借由一框架固设至少两对槽棒形成基板载具，该基板载具可用于收容及支承诸如平面显示器制程中所用的玻璃基板。该基板支承用槽棒仅通过其支承板的凸起与玻璃基板的边部接触，可减少因摩擦所产生的粉屑；该支承板仅沿本体一侧设置而非采用环绕本体的圆形结构亦可减少材料、节约成本。

主权项

1.一种基板支承用槽棒，其包括一支承棒及一金属棒，该支承棒包括一具轴向贯穿孔的本体，该金属棒插设于该本体的贯穿孔内，其特征在于：该支承棒又包括多个设置于该本体一侧的支承板，该支承板自本体以间隔突出，相邻支承板间的间隔形成支承基板的支承槽。