FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICES WITH AIR GAPS FOR ULTRA LOW CAPACITANCE INTERCONNECTION STRUCTURES,申请号EP20010968364-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICES WITH AIR GAPS FOR ULTRA LOW CAPACITANCE INTERCONNECTION STRUCTURES
摘要
申请公布号	EP1352421(A2)	申请公布日期	2003.10.15
申请号	EP20010968364	申请日期	2001.08.31
申请人	GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION	发明人	KOHL, PAUL, ALBERT;ALLEN, SUE, ANN, BIDSTRUP;HENDERSON, CLIFFORD, LEE;KELLEHER, HOLLIE ANN;BHUSARI, DHANANJAY, M.
分类号	H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
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