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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ZUFÜHREN VON VORLÄUFERN ZU MEHREREN EPITAXIALREAKTOREN
摘要
申请公布号 AT251237(T) 申请公布日期 2003.10.15
申请号 AT20000942260T 申请日期 2000.07.03
申请人 EPICHEM LIMITED;IQE PLC 发明人 RAVETZ, MEGAN;WILLIAMS, GRAHAM;NELSON, ANDREW;BLUNT, ROY TREVOR;WILLIAMS, HOWARD;ODEDRA, RAJESH
分类号 C23C16/448;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14;C23C16/44 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
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