液相原子力显微镜探头

摘要

本发明公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本发明液相原子力显微镜探头结构简洁，技术条件易于实现，广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品，既可以在空气中测量，又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。

主权项

1.一种液相原子力显微镜探头，其特征在于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统(2)、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统(1)，以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元(3)。