带槽的抛光垫及其使用方法

摘要

通过将一个CMP垫(12)定位在一个支承表面上，使该垫的一个工作表面(22)与一个铣刀(24)和至少一个邻近该铣刀的突出的止动部件(33)相对间隔开，且使铣刀的外端部分伸出该止动部件，而在该垫中形成槽。当铣刀转动时，在铣刀与垫之间的相对轴向运动使铣刀的外端部分在垫上切出一初始凹陷。然后，在旋转的铣刀和垫之间的相对横向运动形成一槽，该槽从上述凹陷离开横向延伸，并与该凹陷具有基本相等的深度。铣刀与垫之间不同的横向运动用于形成各种各样的槽图案，槽的深度由所述止动部件来精确地控制。该槽可以形成于抛光表面和/或垫的后相对表面上；可以设置通道，用以提供后槽与抛光表面或前槽之间的相互连接。抛光表面中的槽可设有出口，通过该出口，可以在抛光表面与工件表面相接触时使磨料浆流出。

主权项

1.一种用于给工件抛光的垫，它包括：一个主体，该主体具有一个基本上平坦的抛光表面和至少一个位于上述抛光表面的一个开槽部分中的延长的槽，以便当上述垫旋转时，该开槽部分扫过与上述抛光表面接触的整个工件表面。