薄膜小型空心管式固体电解质CO<SUB>2</SUB>传感器

摘要

本实用新型属于气体敏感元器件领域，涉及一种薄膜小型空心管式固体电解质CO₂传感器。由Al₂O₃空心管式衬底(1)、NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO₃－Li₂CO₃辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，环形加热丝内置于Al₂O₃空心管中。本实用新型把Al₂O₃管式衬底引入到固体电解质传感器的制作中，利用NASICON的原溶胶溶液采用反复提拉法在管式衬底上制备出一层NASICON薄膜，再依次制备出网状金电极、信号铂(Pt)电极、二元碳酸盐BaCO₃－Li₂CO₃辅助电极。该传感器具有制作简单、加热效果好、功耗低、体积小等优点。

主权项

1、一种薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器，由NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3-Li2CO3辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，其特征在于：传感器还包括有Al2O3空心管式衬底(1)，NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3-Li2CO3辅助电极(5)依次在Al2O3空心管式衬底(1)上制作，环形加热丝(2)内置于Al2O3空心管式衬底(1)中，Al2O3空心管式衬底尺寸为φ1.0～1.5mm×3.5～4.5mm，管壁厚为0.2～0.3mm，内置加热丝的尺寸为φ0.9～1.4mm×3.5～4.5mm，加热丝直径为0.1 5～0.25mm。