| 发明名称 |
Stacked micromirror structures |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1191382(A3) |
申请公布日期 |
2003.10.15 |
| 申请号 |
EP20010000451 |
申请日期 |
2001.09.12 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
ORCUTT, JOHN W.;MELENDEZ, JOSE L. |
| 分类号 |
B81B3/00;B81B5/00;G02B26/08;H04B10/10;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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