阳极化处理设备和与该设备有关的方法

摘要

由抗HF材料制成的支持器，包括环形吸气衬垫(105，108)。吸气衬垫(105)利用吸力支持小的硅衬底，吸气衬垫(108)利用吸力支持大的硅衬底。这样就可处理具有各种尺寸的硅衬底。利用泵减少吸气衬垫沟内空间的压力用吸力支持硅衬底。在该支持器中形成开口使得硅衬底的两个表面与HF溶液接触。使用铂作为正负电极并通过施加直流电压对硅衬底进行阳极化处理，制造具有多孔层的衬底。

主权项

1.一种衬底支持器，用于在电解溶液中支持待进行阳极化处理的衬底，其特征在于，所述衬底支持器的主体包括：用于通过吸力来支持衬底的一个表面的一部分的吸气机构；和开口，使电解溶液穿过所述开口与被支持的衬底的所述一个表面接触，其中所述吸气机构沿被支持的衬底的外周边部分的内部而配置。