IC试验装置

摘要

提供施加在被试验IC的接触部分的推压力均一性优良的IC试验装置。这是一种把被试验IC的输入输出端子推压到试验头的接触引脚51上进行试验的IC试验装置，具备被设置为对接触引脚51可以进行靠近离开的推进器基座34，设在推进器基座上与被试验IC接触后对之进行推压的推进器块31，对推进器块在被试验IC的推压方向上提供弹力的弹簧36。

主权项

1、一种IC试验装置，在将分别独立的多个被试验IC搭载于试验托盘上的状态下把多个被试验IC的输入输出端子同时向试验头的接触部分推压，从而进行试验，其特征在于：被设置成相对于所述接触部分可进行靠近离开移动的推进器基座；设置于所述推进器基座上，在从所述接触部分的相反面接触到所述被试验IC后对之进行推压的推进器块；对所述推进器块在所述被试验IC的推压方向上提供弹力的弹簧；以及用于调节在所述弹簧的安装状态下的基准长度并调节作用于推进器块上的初始载荷的填隙片。