防止液滴残留的液体喷洒方法及其喷嘴装置

摘要

本发明涉及一种防止液滴残留的液体喷洒方法及其喷嘴装置，在喷嘴的主输送管之侧并联具有细孔的缓冲输送管。当进行显影喷洒时，主输送管与缓冲输送管同时供应显影液，在喷洒完成时，关闭主输送管，并利用细孔继续提供的流量，填补主输送管关闭时的瞬间回吸量，待液面与喷嘴口齐平时，关闭缓冲输送管，同时开启回吸控制阀，回吸液体至喷嘴中。

主权项

1.一种防止液滴残留的液体喷洒方法，其特征在于，所述方法包括：进行一喷洒步骤，利用一主输送管向下喷洒一定量的一液体后，停止所述喷洒步骤，所述喷洒步骤停止时的一液面与所述主输送管的管口存在有一段距离；进行一回填步骤，利用一缓冲输送管向下回填所述液面至与所述主输送管的管口齐平后，停止所述回填步骤；以及进行一回吸步骤，回吸所述液面至所述液面与所述主输送管管口距离一特定距离时，停止所述回吸步骤。