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发明名称 COMPOSITION FOR CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION OF COPPER, TANTALUM AND TANTALUM NITRIDE
摘要
申请公布号 EP1352109(A1) 申请公布日期 2003.10.15
申请号 EP20010998054 申请日期 2001.12.18
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 ZHANG, FAN;TOWERY, DANIEL;LEVERT, JOSEPH;MUKHERJEE, SHYAMA
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K13/06;C23F1/18;C23F1/26;C23F1/30;C23F3/04;C23F3/06;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F3/06 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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