发明名称
摘要
申请公布号 JP3456562(B2) 申请公布日期 2003.10.14
申请号 JP19970102756 申请日期 1997.04.04
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
地址