发明名称 FINE PARTICLE COLLECTING APPARATUS FOR VACUUM GAS EXHAUST SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01151918(A) 申请公布日期 1989.06.14
申请号 JP19870311003 申请日期 1987.12.10
申请人 ULVAC CORP 发明人 MAEHA YOSHIYASU
分类号 B01D49/02;F04B37/16 主分类号 B01D49/02
代理机构 代理人
主权项
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