| 发明名称 |
ION BEAM ADJUSTMENT STATUS CONFIRMATION DEVICE FOR ION IMPLANTATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01176650(A) |
申请公布日期 |
1989.07.13 |
| 申请号 |
JP19870336240 |
申请日期 |
1987.12.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;ULVAC CORP |
发明人 |
SEKINE MASAHIRO;ONO HARUTO |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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