发明名称
摘要
申请公布号 JP3456242(B2) 申请公布日期 2003.10.14
申请号 JP19930322720 申请日期 1993.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L21/823 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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