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发明名称
摘要
申请公布号	JP2003530481(A)	申请公布日期	2003.10.14
申请号	JP20010538578	申请日期	2000.11.17
申请人		发明人
分类号	C23C16/509;C23C16/40;C23C16/448;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/509	主分类号	C23C16/509
代理机构		代理人
主权项
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