| 发明名称 |
PLASMA PROCESSOR ELECTRODE AND PLASMA PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003220819(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.13 |
| 申请号 |
AU20030220819 |
申请日期 |
2003.03.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KEIICHI MATSUSHIMA;TAKASHI SUZUKI;HAJIME FURUYA |
| 分类号 |
H01L21/3065;C23F1/00;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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