| 发明名称 |
DARK FIELD DETECTION APPARATUS WITH TRAVELING LENS MULTI-BEAM SCANNER AND A METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003217935(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.13 |
| 申请号 |
AU20030217935 |
申请日期 |
2003.03.14 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD. |
发明人 |
SILVIU REINHORN;RON NAFTALI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/89;G01N21/95;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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