| 发明名称 |
A METHOD FOR MAKING NANOSCALE WIRES AND GAPS FOR SWITCHES AND TRANSISTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003220204(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.13 |
| 申请号 |
AU20030220204 |
申请日期 |
2003.03.13 |
| 申请人 |
HEWLETT-PACKARD COMPANY |
发明人 |
YONG CHEN;R STANLEY, WILLIMAS |
| 分类号 |
B82B3/00;G11C13/00;H01L21/00;H01L21/20;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/3213;H01L21/335;H01L21/336;H01L21/44;H01L21/82;H01L27/10;H01L29/06;H01L29/423;H01L29/76;H01L29/775;H01L29/786;H01L29/94;H01L31/0328;H01L31/113;(IPC1-7):H01L21/335 |
主分类号 |
B82B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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