| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING ORGANIC MATTER OF VAPOR PHASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003217530(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.13 |
| 申请号 |
AU20030217530 |
申请日期 |
2003.03.27 |
| 申请人 |
ANS INC |
发明人 |
KYUNG-BIN BAE;DONG-KWON CHOI;DONG-SOO KIM |
| 分类号 |
C23C14/12;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C14/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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