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发明名称 NEGATIVE RESIST MATERIAL AND PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20030080193(A) 申请公布日期 2003.10.11
申请号 KR20030007700 申请日期 2003.02.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;C08F12/22;C08F20/12;C08F32/08;G03F7/033;G03F7/038;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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