发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND REACTION CONTAINER
摘要
申请公布号 KR20030079786(A) 申请公布日期 2003.10.10
申请号 KR20030021100 申请日期 2003.04.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/458;H01J37/32 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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