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经营范围
发明名称
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND REACTION CONTAINER
摘要
申请公布号
KR20030079786(A)
申请公布日期
2003.10.10
申请号
KR20030021100
申请日期
2003.04.03
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/458;H01J37/32
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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