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发明名称 Mustererzeugungsgerät
摘要
申请公布号 DE3927732(C2) 申请公布日期 2003.10.09
申请号 DE19893927732 申请日期 1989.08.23
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ALLEN, PAUL C.;TEITZEL, ROBIN;THOMAS, TIMOTHY
分类号 G02F1/11;B23K26/06;B23K26/073;G02B27/09;(IPC1-7):G02B26/10 主分类号 G02F1/11
代理机构 代理人
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