Elektromagnetisches Abschirmblatt und Verfahren zur Herstellung desselben

摘要

Eine netzartige, metallische Folie 11' und ein transparenter Substratfilm 14 werden mit einer Klebeschicht 13 laminiert. Die klebeschichtseitige Oberfläche 13 der metallischen Folie 11' kann mit einer Nachdunkelungsschicht 12 ausgebildet sein. Die Rauheit der Oberfläche an der Seite der Klebeschicht 13 (unteren Oberfläche) der metallischen Folie 11' ist vorzugsweise derart, daß die maximale Höhe Rmax größer als 0 und kleiner als 4 mum ist, noch bevorzugter größer als 0 und 2 mum oder kleiner ist. Solange die maximale Höhe Rmax dieser Oberfläche der metallischen Folie 11' in den oben beschriebenen Bereich fällt, enthält die Klebeschicht niemals Luftblasen in derartigen Größen, daß das Reflexionsvermögen nachteilig beeinflußt wird. Weiter ist die Rauheit der Oberfläche (oberen Oberfläche) der metallischen Folie 11' gegenüberliegend zu der Seitenoberfläche der Klebeschicht 13 vorzugsweise derart, daß die arithmetisch mittlere Rauheit Ra in dem Bereich zwischen 0,02 mum und 1 mum liegt. Solange die arithmetische, mittlere Rauheit Ra dieser Oberfläche der metallischen Folie 11' in dem obigen Bereich liegt, ist es möglich, effizient eine Vakuumbehandlung durchzuführen, um eine photoempfindliche Harzschicht und eine Photomaske in Blattform, die auf der photoempfindlichen Harzschicht angeordnet ist, in engen Kontakt zu bringen, bevor die musterartige Belichtung der photoempfindlichen Harzschicht durchgeführt wird.