| 发明名称 |
Method of measuring a line edge roughness of micro objects in scanning microscopes |
| 摘要 |
A line edge roughness of micro objects is determined in a microscope by corresponding scanning and determination of deviations of points of the edge from a straight line.
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| 申请公布号 |
US2003190069(A1) |
申请公布日期 |
2003.10.09 |
| 申请号 |
US20020115375 |
申请日期 |
2002.04.03 |
| 申请人 |
NIKITIN ARKADY;YEREMIN DMITRIY |
发明人 |
NIKITIN ARKADY;YEREMIN DMITRIY |
| 分类号 |
G06K9/00;G06K9/36;G06K9/48;G06T5/00;G06T7/00;H04N7/18;(IPC1-7):G06K9/00 |
主分类号 |
G06K9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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