Verfahren und Vorrichtung zur Mittenabdeckung einer Datenaufzeichnungsplatte während der Dünnfilmbeschichtung

摘要

Beim Dünnfilmbeschichten von Datenaufzeichnungsplatten wird ein Träger (20) verwendet. Die Platten sind in einem Plattenaufnahmeelement gehalten. In den Platten ist eine Mittelöffnung ausgebildet, durch welche die Dünnfilmbeschichtung hindurchtreten kann. Der Träger (20) weist eine Basisplatte (21) zur Aufnahme des Plattenaufnahmeelementes auf. Mehrere diskrete Abdeckungen (24) sind in Ausrichtung mit den Mittelöffnungen der Platten angeordnet. Die Abdeckungen (24) sind lösbar mit der Basisplatte (21) verbunden. Diese lösbare Verbindung erfolgt vorzugsweise durch Magnetkraft.